Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀屬于是德科技精密電流－電壓分析儀系列，是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀，旨在全面滿足從基礎(chǔ)到尖端應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供極其豐富的測量功能，支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試，并且具有卓越的測量可靠性和測量效率。此外，B1500A 的模塊化體系結(jié)構(gòu)和 10 個(gè)空閑插槽允許您添加或升級測量模塊，以適應(yīng)不斷變化的測量需求。
基于 Keysight EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面的表征軟件可以在 B1500A（配有 15 寸觸摸屏）的嵌入式 Windows 7 平臺或 PC 上運(yùn)行，能夠幫助加快表征任務(wù)速度。軟件支持交互式手動操作或結(jié)合半自動晶圓探頭的自動操作，能夠在從測量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過程中實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種易于使用的測量（應(yīng)用測試）功能，允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征，并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動保存到獨(dú)有的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫（工作區(qū)）中，以確保不會遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能，Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。
主要特性與技術(shù)指標(biāo)
測量功能
??在 0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V 范圍內(nèi)執(zhí)行精確的電流-電壓（IV）測量，支持點(diǎn)測量、掃描測量、采樣和脈沖測量
??在 1 kHz 至 5 MHz 頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測量，支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量
??先進(jìn)的脈沖 IV 測量和超快 IV 測量，最低采樣間隔為 5 ns（200 MSa/s）
??高達(dá) 40 V 的高壓脈勢，適用于非易失存儲器測試
EasyEXPERT group+ 軟件
??EasyEXPERT group+ 表征環(huán)境可以在配有 15 英寸觸摸屏的分析儀主機(jī)（嵌入式 Windows 7）或用戶 PC 上運(yùn)行
??多種測量模式，實(shí)現(xiàn)快速設(shè)置和測量執(zhí)行（應(yīng)用測試、典型測試、追蹤儀測試、快速測試和示波器顯示）
??圖形顯示和自動分析功能，能夠生成數(shù)據(jù)并導(dǎo)入 Excel 和圖像以便分析和報(bào)告
??EasyEXPERT group+ 軟件可以根據(jù)您的需要安裝在多臺 PC 上并且不會收取額外的費(fèi)用，因而您所在部門的用戶都能充分利用離線個(gè)人分析儀環(huán)境進(jìn)行測試
主機(jī)功能特性
??可配置和可升級的測量模塊，多達(dá) 10 插槽
??15 英寸觸摸屏支持直觀的 EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面（GUI）操作方式
??嵌入式 Windows 7 標(biāo)準(zhǔn)版操作系統(tǒng)（WES7）
??GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口
描述
Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀屬于是德科技精密電流－電壓分析儀系列，是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀，旨在全面滿足從基礎(chǔ)到尖端應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供極其豐富的測量功能，支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試，并且具有卓越的測量可靠性和測量效率。此外，B1500A 的模塊化體系結(jié)構(gòu)和 10 個(gè)空閑插槽允許您添加或升級測量模塊，以適應(yīng)不斷變化的測量需求。
基于 Keysight EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面的表征軟件可以在 B1500A（配有 15 寸觸摸屏）的嵌入式 Windows 7 平臺或 PC 上運(yùn)行，能夠幫助加快表征任務(wù)速度。軟件支持交互式手動操作或結(jié)合半自動晶圓探頭的自動操作，能夠在從測量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過程中實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種易于使用的測量（應(yīng)用測試）功能，允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征，并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動保存到獨(dú)有的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫（工作區(qū)）中，以確保不會遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能，Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。
即用型應(yīng)用程序庫
器件類型 | 應(yīng)用測試 |
CMOS 晶體管 | Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容、QSCV 等 |
雙極晶體管 | Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿、三極管、電容等 |
分立器件 | Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等 |
存儲器 | Vth、電容、耐久測試等 |
功率器件 | 脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿等 |
納米器件 | 電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc 等 |
可靠性測試 | NBTI/PBTI、電荷泵、電遷移、熱載子注入、恒增電流（J-Ramp）、TDDB 等 |
以及其它 | 以及其它 |
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EasyEXPERT group+ 的出眾功能
測量功能 | 階狀掃描、多通道掃描、脈沖掃描、IV 采樣、高速 IV 采樣、CV、C-t、C-f 等 |
開關(guān)矩陣控制 | 支持 B2200、B2201 和 E5250（E5252 卡）。 |
分析和數(shù)據(jù)顯示功能 | 列表顯示、X-Y 圖（使用游標(biāo)、光標(biāo)、線）、自動分析函數(shù)、用戶函數(shù)等 |
數(shù)據(jù)管理 | 用戶工作區(qū)管理、利用自動記錄特性來保存/調(diào)用測量數(shù)據(jù)和設(shè)置 |
型號 | 名稱 | 功能 |
B1500A | 半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀/半導(dǎo)體表征系統(tǒng)主機(jī) | Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀屬于精密電流-電壓分析儀，是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀，旨在全面滿足從基礎(chǔ)到尖端應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供極其豐富的測量功能，支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試，并且具有卓越的測量可靠性和測量效率。 |
B1500A-A10 | 大功率電源/測量單元 | 最大200V/1A 最小測量分辨率10fA/2μV 最小電源分辨率50fA/100μV 最小 100μs 采樣率 (時(shí)域)測量 最小脈寬 500μs, 100μs 分辨率 準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QSCV)測量, 具有泄漏電流補(bǔ)償 |
B1500A-A11 | 中功率電源/測量單元 | 最大100V/0.1A 最小測量分辨率10fA/0.5μV 最小電源分辨率50fA/25μV 最小 100μs 采樣率 (時(shí)域)測量 最小脈寬 500μs, 100μs 分辨率 準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QSCV)測量, 具有泄漏電流補(bǔ)償 |
B1500A-A17 | 高分辨率電源/測量單元 | 最大100V/0.1A 最小測量分辨率1fA/0.5μV 最小電源分辨率5fA/25μV 最小 100μs 采樣率 (時(shí)域)測量 最小脈寬 500μs, 100μs 分辨率 準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QSCV)測量, 具有泄漏電流補(bǔ)償 |
B1500A-A20 | 多頻率電容測量單元 | 頻率范圍為1kHz至5MHz SMU和SCUU提供25V內(nèi)置直流偏置和100V直流偏置 交流阻抗測量 (C-V、C-f、C-t)? |
B1500A-A25 | 高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元 | 高壓輸出可達(dá)±40 V，適用于非易失存儲器測試 每通道支持二電平和三電平脈沖 ALWG 可以靈活地生成任意波形（任意線性波形生成功能），分辨率為 10ns 高度精確的強(qiáng)勵(lì)電壓與0.4mV分辨率 頻率范圍為0.1Hz至33MHz 電壓監(jiān)測時(shí)間最小值是5μs 每個(gè)模塊具有兩個(gè)通道 |
B1500A-A30 | 波形發(fā)生器/快速測量單元 | 支持快速、高靈敏度的IV（電流-電壓）測量、脈沖IV 測量和瞬時(shí)IV測量，適合各種應(yīng)用場合，比如NBTI/PBTI和RTN（隨機(jī)電報(bào)信號噪聲）等 可以生成任意波形，編程分辨為10 ns（除了直流輸出以外） 同時(shí)執(zhí)行高速IV測量（最高200MSa/秒） 精度為1nA的高靈敏度測量 10V峰峰值輸出 雙通道輸出 |
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